[发明专利]臭氧气体加热机构、基板处理装置以及基板处理方法有效
| 申请号： | 201810100589.0 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN108389770B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 吉田崇;佐藤健一;矢野哲也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种减少由于供给臭氧气体而产生的基板温度的偏差的臭氧气体加热机构、基板处理装置以及基板处理方法。一个实施方式的臭氧气体加热机构具备：气体供给单元，其设置在基板处理装置的处理容器内，能够向基板供给臭氧气体；气体供给配管，其与所述气体供给单元连接，能够向所述气体供给单元供给所述臭氧气体；以及配管加热单元，其设置在所述气体供给配管，用于对所述气体供给配管内的所述臭氧气体进行加热。 | ||
| 搜索关键词： | 臭氧 气体 加热 机构 处理 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种臭氧气体加热机构，具备：气体供给单元，其设置在基板处理装置的处理容器内，能够向基板供给臭氧气体；气体供给配管，其与所述气体供给单元连接，能够向所述气体供给单元供给所述臭氧气体；以及配管加热单元，其设置在所述气体供给配管，用于对所述气体供给配管内的所述臭氧气体进行加热。
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