[发明专利]图像传感器、图像系统及图像传感器制造方法

摘要

本申请案揭示一种图像传感器、图像系统及图像传感器制造方法。所述图像传感器包含具有前侧及与所述前侧相对的背侧的半导体材料。所述图像传感器还包含浅沟槽隔离STI结构、层间电介质、金属间电介质及接触区。所述STI结构从所述半导体材料的所述前侧延伸到所述半导体材料中。所述层间电介质安置在所述半导体材料的所述前侧与所述金属间电介质之间。所述接触区接近于所述半导体材料的横向边缘而安置。所述接触区包含安置在所述金属间电介质内的金属互连件以及至少部分地安置在所述层间电介质内的多个接触插塞。所述接触区还包含接触垫。所述多个接触插塞耦合在所述接触垫与所述金属互连件之间。

主权项

1.一种图像传感器，其包括：半导体材料，其具有前侧及与所述前侧相对的背侧；浅沟槽隔离STI结构，其从所述半导体材料的所述前侧延伸到所述半导体材料中；层间电介质，其安置在所述半导体材料的所述前侧与金属间电介质之间；以及接触区，其接近于所述半导体材料的横向边缘而安置，所述接触区包含：金属互连件，其安置在所述金属间电介质内；多个接触插塞，其至少部分地安置在所述层间电介质内；以及接触垫，其中所述多个接触插塞耦合在所述接触垫与所述金属互连件之间。