[发明专利]被加工物的检査方法、被加工物的检査装置和加工装置在审
| 申请号： | 201810088187.3 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108500842A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 高桥邦充;北野元己;前岛信 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12;B24B37/005;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及能够更适当且容易地对被加工物的磨削痕进行检测的被加工物的检査方法、被加工物的检査装置和加工装置。本发明的被加工物的检査方法具备下述步骤：加工步骤，利用磨削磨具或研磨垫对被加工物进行加工；投影步骤，将来自光源的光照射到该被加工物的被加工面，使由该被加工面反射的该光到达屏幕，从而将反映了在该加工步骤中形成在被加工面上的凹凸的状态的投影像映在该屏幕上；拍摄步骤，对该屏幕的该投影像进行拍摄而形成拍摄图像；以及判定步骤，基于该拍摄图像掌握该被加工物的该凹凸的状态，对被加工物的好坏进行判定。 | ||
| 搜索关键词： | 被加工物 被加工面 加工步骤 加工装置 拍摄图像 凹凸的 投影像 屏幕 判定 磨削磨具 投影步骤 拍摄 光照射 研磨垫 反射 光源 磨削 加工 检测 | ||
【主权项】：
1.一种被加工物的检査方法，其特征在于，其具备下述步骤：加工步骤，利用磨削磨具或研磨垫对被加工物进行加工；投影步骤，将来自光源的光照射到该被加工物的被加工面，使由该被加工面反射的该光到达屏幕，从而将反映了在该加工步骤中形成在被加工面上的凹凸的状态的投影像映在该屏幕上；拍摄步骤，对该屏幕的该投影像进行拍摄而形成拍摄图像；以及判定步骤，基于该拍摄图像掌握该被加工物的该凹凸的状态，对被加工物的好坏进行判定。
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