[发明专利]一种柔性发光薄膜及其制作方法在审
| 申请号： | 201810077260.7 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108305919A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 伊晓燕 | 申请（专利权）人： | 平潭中科半导体技术联合研究中心 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 郭福利;魏思凡 |
| 地址： | 350400 福建省福州市平*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性发光薄膜的制作方法，包含以下步骤：S1：准备带有蓝宝石衬底层的氮化镓LED外延片，所述氮化镓LED外延片包含自下而上配置的N‑Gan层、MQWs层和P‑Gan层，所述N‑Gan层位于蓝宝石衬底层上；S2：在所述P‑Gan层形成SiO2层，所述SiO2层具有暴露P‑Gan层的预设镂空区；S3：沿所述SiO2层的镂空区对N‑Gan层、MQWs层和P‑Gan层进行处理，以形成贯通N‑Gan层、MQWs层和P‑Gan层的贯通孔；S4：去除所述SiO2层；S5：形成透明填充层填充以所述贯通孔；S6：在所述P‑Gan层上形成第一透明电极层；S7：在所述第一电极层上形成透明柔性衬底层；S8：去除所述蓝宝石衬底层；S9：在所述N‑Gan层上形成第二透明电极层。本发明另提供一种柔性发光薄膜。本发明的制作方法可提高所形成的发光薄膜的出光率。 | ||
| 搜索关键词： | 发光薄膜 蓝宝石衬底层 氮化镓LED外延片 透明电极层 贯通孔 镂空区 去除 制作 透明填充层 第一电极 透明柔性 衬底层 出光率 配置的 填充 预设 贯通 暴露 | ||
【主权项】：
1.一种柔性发光薄膜的制作方法，其特征在于，包含以下步骤：S1:准备带有蓝宝石衬底层(1)的氮化镓LED外延片，所述氮化镓LED外延片包含自下而上配置的N‑Gan层(2)、MQWs层(3)和P‑Gan层(4)，所述N‑Gan层(2)位于蓝宝石衬底层(1)上；S2：在所述P‑Gan层(4)形成SiO2层(5)，所述SiO2层(5)具有暴露P‑Gan层(4)的预设镂空区(5A)；S3：沿所述SiO2层(5)的镂空区(5A)对N‑Gan层(2)、MQWs层(3)和P‑Gan层(4)进行处理，以形成贯通N‑Gan层(2)、MQWs层(3)和P‑Gan层(4)的贯通孔(6)；S4：去除所述SiO2层(5)；S5：形成透明填充层(7)填充以所述贯通孔(6)；S6：在所述P‑Gan层(4)上形成第一透明电极层(8)；S7：在所述第一电极层(8)上形成透明柔性衬底层(9)；S8：去除所述蓝宝石衬底层(1)；S9：在所述N‑Gan层(2)上形成第二透明电极层(10)。
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