[发明专利]基材处理装置及检测方法

摘要

本发明提供一种一面在长度方向上搬送长尺寸带状的基材一面进行处理的基材处理装置及在所述基材处理装置中，可不依靠形成在基材的表面上的对位标记等图像，而检测基材的搬送方向的位置或搬送速度的偏离量的检测方法。所述基材处理装置具有第1边缘传感器、第2边缘传感器、及偏离量算出部。第1边缘传感器在第1检测位置上检测基材的边缘的宽度方向的位置，由此取得第1检测结果。第2边缘传感器在第2检测位置上检测基材的边缘的宽度方向的位置，由此取得第2检测结果。偏离量算出部根据第1检测结果及第2检测结果，算出基材的搬送方向的位置或搬送速度的偏离量。由此，可不依靠对位标记等图像，检测基材的搬送方向的位置或搬送速度的偏离量。

主权项

1.一种基材处理装置，其特征在于包括：搬送机构，沿着规定的搬送路径在长度方向上搬送长尺寸带状的基材；第1检测部，在所述搬送路径上的第1检测位置上，连续地或断续地检测所述基材的边缘的宽度方向的位置，由此取得第1检测结果；第2检测部，在所述搬送路径上的比所述第1检测位置更下游侧的第2检测位置上，连续地或断续地检测所述基材的边缘的宽度方向的位置，由此取得第2检测结果；以及偏离量算出部，根据所述第1检测结果及所述第2检测结果，算出所述基材的搬送方向的位置或搬送速度的偏离量。