[发明专利]一种具有力伺服功能的微机械加工刀架

摘要

本发明公开了一种具有力伺服功能的微加工刀架，所述微加工刀架包括PZT促动器、第一位移传感器、第二位移传感器、丝杆、螺母、旋转环、柔性铰链、探针、导向支架和XY位移平台。本发明利用柔性铰链，将对法向力的测量转为对柔性铰链法向变形量的测量，对位移的测量更简单，更精确；采用环形中心对称柔性铰链，可以有效抵抗侧向力产生的变形，使探针与XY平面尽可能保持垂直，减小偏转角度；利用旋转环配合紧钉螺钉可以调节探针的角度，实现不同角度的微机械加工；通过更换柔性铰链可以改变最大载荷，以适用于加工不同硬度的工件；通过丝杆螺母可以调节第二位移传感器与柔性铰链的间距，便于确定初始间距，方便测量。

主权项

1.一种具有力伺服功能的微加工刀架，其特征在于所述微加工刀架包括PZT促动器、第一位移传感器、第二位移传感器、丝杆、螺母、旋转环、柔性铰链、探针、导向支架和XY位移平台，其中：所述导向支架为倒“T”型，由水平支架和竖直支架构成，所述竖直支架的中部右侧设有水平分支架；所述XY位移平台的工作面朝下；所述PZT促动器的固定端安装在所述XY位移平台的工作面上，运动端与所述水平支架的左侧上表面连接；所述第一位移传感器安装在所述XY位移平台的工作面上，且位于所述竖直支架的正上方；所述丝杆安装在水平分支架上；所述螺母安装在所述丝杆上，且位于水平分支架的下方；所述第二位移传感器安装在所述螺母上，所述螺母通过所述丝杆上下运动，从而调节所述第二位移传感器与所述柔性铰链的间距；所述旋转环由紧钉螺钉固定安装在所述水平支架的右侧；所述柔性铰链安装于所述旋转环的下方，两者同心；所述探针安装在所述柔性铰链中心下方。