[发明专利]一种低含量钒脱硝催化剂及其制备方法

摘要

本发明涉及一种低含量钒脱硝催化剂及其制备方法，具体涉及一种应用原子层沉积技术制备具有高催化效果的低含量钒脱硝催化剂及其制备方法，本发明用原子层沉积技术精确控制金属纳米粒子的尺寸和分散，充分利用催化剂活性组分，选取脱硝催化剂的所需元素钛、钨、钒，选取合适的沉积前驱体依次沉积钛—钨—钒，获得活性组分分散均匀的脱硝催化剂，低含量钒的催化剂具有较宽的反应温度范围，表现出优良的催化性。

主权项

1.一种低含量钒脱硝催化剂制备方法，其特征在于脱硝催化剂利用原子层沉积仪进行沉积，包括以下步骤：将清洗干燥好的石英玻璃片基底放入到原子层沉积腔体中，抽真空并通入高纯氩气，将基底预热到一定温度范围，开始进行沉积，沉积过程包括依次进行的TiO₂的沉积→WO₃的沉积→V₂O₅的沉积为一次沉积过程，重复此沉积过程5‑15次；待沉积腔体自然冷却至室温，从石英玻璃片基底刮下沉积层焙烧后即制得脱硝催化剂；上述TiO₂的沉积通过重复60‑90次TiO₂的沉积循环实现，一次TiO₂的沉积循环包括：以四氯化钛为前驱体，脉冲5‑10s的四氯化钛→20秒高纯氩气吹扫→脉冲5‑10s的水蒸汽→20秒高纯氩气吹扫；其中沉积温度210℃，载气为高纯氩气；上述WO₃的沉积通过重复5‑10次WO₃的沉积循环实现，一次WO₃的沉积循环包括：以六羰基钨为前驱体，脉冲5‑10s的六羰基钨→20秒高纯氩气吹扫→脉冲5‑10s的高纯氧气→20秒高纯氩气吹扫，其中沉积温度设置为130℃；上述V₂O₅的沉积通过重复3‑6次V₂O₅的沉积循环实现，一次V₂O₅的沉积循环包括：以乙酰丙酮钒为前驱体，脉冲5‑10s的乙酰丙酮钒→20秒高纯氩气吹扫→脉冲5‑10s的高纯氧气→20秒高纯氩气吹扫，其中沉积温度设置为130℃。