[发明专利]缺陷检测方法及缺陷检测设备

摘要

本发明提供了一种缺陷检测方法及检测设备，涉及显示装置制造技术领域，用于解决传统缺陷检测过程受人为因素影响大，造成检测的准确度差的问题，及传统缺陷检测过程耗时长，造成生产效率下降的问题。其中该检测方法包括：获取待检测基板的灰阶图像；判断灰阶图像中是否存在灰阶异常区域，如果是，则确定灰阶图像中的灰阶异常区域和灰阶正常区域，然后执行下一步骤，如果否，则判定待检测基板合格；计算灰阶异常区域与灰阶正常区域的灰阶差值；根据灰阶差值计算灰阶异常区域与灰阶正常区域的膜厚差估计值；根据膜厚差估计值判断待检测基板是否合格。上述方法应用于显示装置的制造过程中，对基板上所涂布的透明薄膜的厚度均匀性进行考察。

主权项

1.一种缺陷检测方法，其特征在于，所述缺陷检测方法包括以下步骤：S1：获取待检测基板的灰阶图像；S2：判断所述灰阶图像中是否存在灰阶异常区域，如果是，则确定所述灰阶图像中的灰阶异常区域和灰阶正常区域，然后进入步骤S3；如果否，则判定所述待检测基板合格；S3：计算所述灰阶异常区域与所述灰阶正常区域的灰阶差值g；S4：根据所述灰阶差值g，计算所述灰阶异常区域与所述灰阶正常区域的膜厚差估计值d；S5：根据所述膜厚差估计值d，判断所述待检测基板是否合格。