[发明专利]缺陷检测方法及缺陷检测设备

权利要求书

1.一种缺陷检测方法，其特征在于，所述缺陷检测方法包括以下步骤：

S1：获取待检测基板的灰阶图像；

S2：判断所述灰阶图像中是否存在灰阶异常区域，如果是，则确定所述灰阶图像中的灰阶异常区域和灰阶正常区域，然后进入步骤S3；如果否，则判定所述待检测基板合格；

S3：计算所述灰阶异常区域与所述灰阶正常区域的灰阶差值g；

S4：根据所述灰阶差值g，计算所述灰阶异常区域与所述灰阶正常区域的膜厚差估计值d；

S5：根据所述膜厚差估计值d，判断所述待检测基板是否合格。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，步骤S4包括：

S41：获取关系系数x；其中，所述关系系数x表征样本数据中样本膜厚差值与样本灰阶差值之间的关系；

S42：根据d=g×x，计算所述膜厚差估计值d。

3.根据权利要求2所述的缺陷检测方法，其特征在于，步骤S41包括：

S411：采集N组样本数据，N≥2，每组所述样本数据包括样本膜厚差值d_i及其所对应的样本灰阶差值g_i，i=1~N，d₁~d_N各不相同；

S412：根据x_i=d_i/g_i，计算每组所述样本数据的样本关系系数x_i；其中，x_i表征对应组样本数据中样本膜厚差值d_i与样本灰阶差值g_i之间的关系；

S413：根据N组所述样本数据的样本关系系数x₁~x_N，计算所述关系系数x。

4.根据权利要求3所述的缺陷检测方法，其特征在于，步骤S413包括：

S4131：设定至少一个灰阶差值的判定区间，各所述判定区间的合集为一连续的数值范围，且各所述判定区间的合集覆盖N组所述样本数据的样本灰阶差值g₁~g_N；

S4132：对于每个所述判定区间，计算落入该判定区间的样本灰阶差值g_i所对应的全部样本关系系数x_i的平均值，得到该判定区间对应的关系系数x。

5.根据权利要求4所述的缺陷检测方法，其特征在于，在步骤S42之前，包括：确定所述灰阶差值g所属的判定区间，然后确定该判定区间对应的关系系数x。

6.根据权利要求1~5任一项所述的缺陷检测方法，其特征在于，步骤S5包括：

S51：确定所述膜厚差估计值d的波动范围d-y~d+y；其中，y为补偿系数，其表征所述膜厚差估计值d相对于所述待检测基板的膜厚差实际值d′的允许的误差值；

S52：将该波动范围与预设的膜厚差阈值d_max进行比对：

若d+y≤d_max，则判定所述待检测基板合格；

若d-y＞d_max，则判定所述待检测基板不合格；

若d-y≤d_max且d+y＞d_max，则测量所述膜厚差实际值d'，然后比较所述膜厚差实际值d'与所述膜厚差阈值d_max，若d'≤d_max，则判定所述待检测基板合格；若d'＞d_max，则判定所述待检测基板不合格；

其中，所述膜厚差阈值d_max为基板在合格的情况下所允许的最大膜厚差值。

7.根据权利要求1~5任一项所述的缺陷检测方法，其特征在于，步骤S1包括：

S11：拍摄所述待检测基板，得到其图像；

S12：将所得到的图像转换为灰阶图像。