[发明专利]一种柔性薄膜材料的平整化处理方法及其应用在审
| 申请号： | 201810058942.3 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108400239A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 陆旭兵;赵凯;龚岩芬;刘俊明 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 潘雯瑛 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番禺区外*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性薄膜材料的平整化处理方法，所述平整化处理方法包括以下步骤：S1：清洗硬质基底和柔性薄膜材料；S2：在硬质基底上放置液态石蜡；S3：将柔性薄膜材料的一侧与硬质基底上的液态石蜡接触，再将其从与液态石蜡接触的一侧到另一侧赶平；S4：用一个平整面挤压柔性薄膜材料，赶出多余的液态石蜡；S5：降温冷却，使柔性薄膜材料与硬质基底之间的液态石蜡凝固，将柔性薄膜材料平整固定于硬质基底上。本发明还涉及所述平整化处理方法在柔性电子器件制作中的应用。本发明的柔性薄膜材料的平整化处理方法能有效确保柔性薄膜材料表面平整，具有操作简单、成本低、能够适用于无机/有机的微纳加工技术的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性薄膜材料 平整化处理 液态石蜡 硬质基 柔性电子器件 微纳加工技术 表面平整 降温冷却 平整面 挤压 凝固 平整 清洗 应用 制作 | ||
【主权项】：
1.一种柔性薄膜材料的平整化处理方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：清洗硬质基底和柔性薄膜材料；S2：在硬质基底上放置液态石蜡；S3：将柔性薄膜材料的一侧与硬质基底上的液态石蜡接触，再将其从与液态石蜡接触的一侧到另一侧赶平；S4：用一个平整面挤压柔性薄膜材料，赶出多余的液态石蜡；S5：降温冷却，使柔性薄膜材料与硬质基底之间的液态石蜡凝固，将柔性薄膜材料平整固定于硬质基底上。
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
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