[发明专利]一种单晶硅片的制绒方法在审
| 申请号： | 201810056843.1 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108251894A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 蔡国华 | 申请（专利权）人： | 温岭汉德高分子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 317523 浙江省台*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶硅片制备领域，公开了一种单晶硅片的制绒方法，包括：1）制绒添加剂的配制：将硫酸软骨素‑聚（乙烯基吡咯烷酮‑乙烯基吡啶）共聚物、二乙烯三胺五甲叉膦酸五钠、3‑甲氧基‑3‑甲基‑1‑丁醇和苯甲酸钠溶解到水中混匀；2）制绒液的配制：将制绒添加剂加到碱溶液中混匀；3）将单晶硅片置入制绒液中制绒。本发明采用硫酸软骨素‑聚（乙烯基吡咯烷酮‑乙烯基吡啶）共聚物、二乙烯三胺五甲叉膦酸五钠、3‑甲氧基‑3‑甲基‑1‑丁醇和苯甲酸钠作为制绒添加剂。在制绒时既能保持快速脱泡能力，又能逐渐减缓反应的进行，维持单晶硅片理想的绒面金字塔结构，制绒后单晶硅片表面的绒面金字塔的尺寸呈现双峰分布，硅片反射率低。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅片 制绒 制绒添加剂 二乙烯三胺五甲叉膦酸 乙烯基吡咯烷酮 硫酸软骨素 乙烯基吡啶 苯甲酸钠 共聚物 甲氧基 制绒液 丁醇 混匀 绒面 配制 单晶硅片表面 金字塔结构 双峰分布 反射率 碱溶液 硅片 水中 脱泡 置入 制备 金字塔 溶解 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅片的制绒方法，其特征在于包括以下步骤：1）制绒添加剂的配制：依次将硫酸软骨素‑聚（乙烯基吡咯烷酮‑乙烯基吡啶）共聚物、二乙烯三胺五甲叉膦酸五钠、3‑甲氧基‑3‑甲基‑1‑丁醇和苯甲酸钠溶解到水中，混合均匀；2）制绒液的配制：将步骤1）制得的制绒添加剂加到碱溶液中，混合均匀；3）将单晶硅片置入步骤2）制得的制绒液中进行制绒。
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