[发明专利]一种单晶硅片的制绒方法在审

专利信息
申请号: 201810056843.1 申请日: 2018-01-19
公开(公告)号: CN108251894A 公开(公告)日: 2018-07-06
发明(设计)人: 蔡国华 申请(专利权)人: 温岭汉德高分子科技有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 317523 浙江省台*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及单晶硅片制备领域,公开了一种单晶硅片的制绒方法,包括:1)制绒添加剂的配制:将硫酸软骨素‑聚(乙烯基吡咯烷酮‑乙烯基吡啶)共聚物、二乙烯三胺五甲叉膦酸五钠、3‑甲氧基‑3‑甲基‑1‑丁醇和苯甲酸钠溶解到水中混匀;2)制绒液的配制:将制绒添加剂加到碱溶液中混匀;3)将单晶硅片置入制绒液中制绒。本发明采用硫酸软骨素‑聚(乙烯基吡咯烷酮‑乙烯基吡啶)共聚物、二乙烯三胺五甲叉膦酸五钠、3‑甲氧基‑3‑甲基‑1‑丁醇和苯甲酸钠作为制绒添加剂。在制绒时既能保持快速脱泡能力,又能逐渐减缓反应的进行,维持单晶硅片理想的绒面金字塔结构,制绒后单晶硅片表面的绒面金字塔的尺寸呈现双峰分布,硅片反射率低。
搜索关键词: 单晶硅片 制绒 制绒添加剂 二乙烯三胺五甲叉膦酸 乙烯基吡咯烷酮 硫酸软骨素 乙烯基吡啶 苯甲酸钠 共聚物 甲氧基 制绒液 丁醇 混匀 绒面 配制 单晶硅片表面 金字塔结构 双峰分布 反射率 碱溶液 硅片 水中 脱泡 置入 制备 金字塔 溶解
【主权项】:
1.一种单晶硅片的制绒方法,其特征在于包括以下步骤:1)制绒添加剂的配制:依次将硫酸软骨素‑聚(乙烯基吡咯烷酮‑乙烯基吡啶)共聚物、二乙烯三胺五甲叉膦酸五钠、3‑甲氧基‑3‑甲基‑1‑丁醇和苯甲酸钠溶解到水中,混合均匀;2)制绒液的配制:将步骤1)制得的制绒添加剂加到碱溶液中,混合均匀;3)将单晶硅片置入步骤2)制得的制绒液中进行制绒。
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