[发明专利]一种蒸镀设备

摘要

本发明涉及OLED的蒸镀镀膜技术领域，提供一种蒸镀装置，蒸镀腔顶部下方固定连接第一驱动座，第一驱动座上安装第一驱动装置，第一驱动装置连接支架；支架上设有第二驱动装置，第二驱动装置连接夹具，夹具用于固定待镀膜样品，或固定承载待镀膜样品的框架。该第一、第二驱动装置用于调整样品方向、角度、速度和转动方式。当蒸镀曲面结构样品时，只通过调节转动的角度就可以使曲面各处得到所需的均匀膜结构，无需额外开真空腔，取出样品，翻转样品，重新蒸镀一次或多次等操作。所述蒸镀装置使用方便，降低蒸镀时间和生产成本，提高了生产效率。

主权项

1.一种蒸镀装置，包括蒸镀腔、蒸镀源，所述蒸镀源位于所述蒸镀腔底部；其特征在于，所述蒸镀腔顶部下方固定连接第一驱动座，所述第一驱动座上安装第一驱动装置，所述第一驱动装置连接支架；

所述支架上设有第二驱动装置和夹具，所述第二驱动装置连接所述夹具，所述夹具用于夹持样品基板，所述样品基板位于所述蒸镀源上方的蒸镀腔内。

2.如权利要求1所述蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀腔顶部设有第三驱动装置，所述第三驱动装置连接水平旋转轴，所述第一驱动座固定连接在所述水平旋转轴上。

3.如权利要求2所述蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还设有控制终端，所述控制终端连接所述第一驱动装置，所述控制终端用于调控所述第一驱动装置的转动方向、角度和速度。

4.如权利要求3所述蒸镀装置，其特征在于，所述控制终端连接所述第二驱动装置，所述控制终端用于调控所述第二驱动装置的转动方向、角度和速度。

5.如权利要求3或4所述蒸镀装置，其特征在于，所述控制终端连接所述第三驱动装置，所述控制终端用于调控所述第三驱动装置的转动方向、角度和速度。

6.如权利要求5所述蒸镀装置，其特征在于，所述第二驱动装置通过可伸缩的连接杆连接所述夹具。

7.如权利要求6所述蒸镀装置，其特征在于，所述可伸缩的连接杆与所述夹具为可拆卸连接；所述夹具数量为多个，多个夹具的规格不同。