[发明专利]一种蒸镀设备

说明书

本发明涉及OLED的蒸镀镀膜技术领域，提供一种蒸镀装置，蒸镀腔顶部下方固定连接第一驱动座，第一驱动座上安装第一驱动装置，第一驱动装置连接支架；支架上设有第二驱动装置，第二驱动装置连接夹具，夹具用于固定待镀膜样品，或固定承载待镀膜样品的框架。该第一、第二驱动装置用于调整样品方向、角度、速度和转动方式。当蒸镀曲面结构样品时，只通过调节转动的角度就可以使曲面各处得到所需的均匀膜结构，无需额外开真空腔，取出样品，翻转样品，重新蒸镀一次或多次等操作。所述蒸镀装置使用方便，降低蒸镀时间和生产成本，提高了生产效率。

技术领域

本发明涉及蒸镀镀膜技术领域，显示和照明领域，具体涉及一种蒸镀设备。

背景技术

在OLED(有机发光二极管)显示和照明产品制作领域，采用蒸镀技术制作OLED产品是一种相对比较主流的工艺。蒸镀技术主要是利用材料热蒸发的原理，即把有机、无机、和金属材料放进蒸镀设备的蒸发源中加热熔融或升华为气态，材料蒸汽沉积在基板上形成一层层薄膜，制备成OLED器件。

现有的蒸镀设备，样品基板的位置一般水平固定在蒸发源正上方，或水平放置在蒸发源正上方并水平旋转以获得较均匀的沉积薄膜。其工艺只适用于平面基板。在蒸镀曲面显示屏或照明基板时只能用平面基板方法单次固定角度蒸镀，或者多次开真空腔室取出样品基板调节摆放位置，多次蒸镀，这样降低了沉积薄膜的均匀性，从而降低产品良率，或者增加了生产步骤和时间，并增加生产成本。而且有些要求厚度范围很严格薄膜，现有设备根本无法完成，因为多次蒸镀形成的连续曲面膜，连接部分两层叠加，厚度必然高于其他部分。

因此，亟需一种蒸镀装置以解决上述技术问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供了一种蒸镀装置，用以解决现有蒸镀设备无法适应曲面样品基板的蒸镀，产品制造成本高或无法制造的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种蒸镀装置，包括蒸镀腔、蒸镀源，所述蒸镀源位于所述蒸镀腔底部；所述蒸镀腔顶部下方固定连接第一驱动座，所述第一驱动座上安装第一驱动装置，所述第一驱动装置连接支架，所述支架上设有第二驱动装置和夹具，所述第二驱动装置连接所述夹具，所述夹具用于夹持样品基板，或固定承载待镀膜样品的框架，所述样品位于所述蒸镀源上方的蒸镀腔内。

进一步优化的，蒸镀腔顶部设有第三驱动装置，所述第三驱动装置连接水平旋转轴，所述第一驱动座固定连接在所述水平旋转轴上。

进一步的，所述蒸镀装置还设有控制终端，所述控制终端连接所述第一驱动装置，所述控制终端用于调控所述第一驱动装置的转动方向、角度和速度。

进一步的，所述控制终端连接所述第二驱动装置，所述控制终端用于调控所述第二驱动装置的转动方向、角度和速度。

进一步的，所述控制终端连接所述第三驱动装置，所述控制终端用于调控所述第三驱动装置的转动方向、角度和速度。

所述第二驱动装置通过可伸缩的连接杆连接所述夹具，以适用于不同大小的样品和框架。

更优的，所述可伸缩的连接杆与所述夹具为可拆卸连接；所述夹具数量为多个，多个夹具的规格不同。可方便调换，适用于固定不同形状规格的样品和框架。

本发明有以下有益效果：

本发明的蒸镀装置，能够在三维坐标系中翻转，灵活调整样品相对于蒸镀源的夹角，可适用于不同形状的曲面蒸镀加工，提高曲面样品镀膜的均匀性和产品良率。本蒸镀装置设有控制终端，控制三轴向驱动装置的转动方向、幅度和速度，实现蒸镀加工角度的精确调整，同时节约了生产时间，降低了生产成本。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明的技术方案作进一步具体说明。

图1是本发明实施例的蒸镀装置的主视图；