[发明专利]一种快速制备高平整度金属氧化物薄膜的方法有效
| 申请号： | 201810053886.4 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108396312B | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 王宏志;陈彦平;王刚;何中媛;李耀刚;张青红;侯成义 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12;B05D1/28 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 黄志达;魏峯 |
| 地址： | 201620 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种快速制备高平整度金属氧化物薄膜的方法，包括：(1)将铟盐、镓盐和锌盐溶解于超纯水中，室温避光搅拌，过滤，得到过滤后的混合物水溶液；(2)将绝缘基底清洗干净后，高纯氩气吹干，氧气等离子体处理，加热至70～90℃，保持恒温待用；(3)采用毛刷蘸取过滤后的混合物水溶液刷涂到恒温绝缘基底上，得到凝胶薄膜，迅速转移，280～320℃下热处理，得到高平整度金属氧化物薄膜。本发明的方法有效降低了金属氧化物薄膜的制备时长，提高了金属氧化物薄膜表面的平整性，降低了金属氧化物薄膜的制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 制备 平整 金属 氧化物 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种快速制备高平整度金属氧化物薄膜的方法，包括：(1)将摩尔比为72.5:7.5:20～73:7:20的铟盐、镓盐和锌盐溶解于超纯水中，室温避光搅拌，得到浓度为0.1～0.3mol/L的混合物水溶液，过滤，得到过滤后的混合物水溶液；(2)将绝缘基底清洗干净后，高纯氩气吹干，氧气等离子体处理，然后加热至70～90℃，保持恒温待用；(3)采用毛刷蘸取步骤(1)得到的过滤后的混合物水溶液刷涂到步骤(2)得到的恒温绝缘基底上，得到凝胶薄膜，将带有凝胶薄膜的基底迅速转移，280～320℃下热处理，得到高平整度金属氧化物薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东华大学，未经东华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810053886.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
