[发明专利]一种基于新型空穴传输层的光电探测器及其制备方法有效
申请号: | 201810050146.5 | 申请日: | 2018-01-18 |
公开(公告)号: | CN108269878B | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 余海军;张科 | 申请(专利权)人: | 淮南师范学院 |
主分类号: | H01L31/09 | 分类号: | H01L31/09;H01L31/18 |
代理公司: | 32207 南京知识律师事务所 | 代理人: | 高桂珍 |
地址: | 23203*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明属于光电探测技术领域,具体为一种基于新型空穴传输层的光电探测器及其制备方法,所述探测器包括透明导电基底层(1)、新型空穴传输层(2)、探测光敏层(3)、电子传输层(4)和反射电极层(5),其特征在于:所述新型空穴传输层(2)为四层结构,包括第一介质层(201)、第二介质层(202)、第三纳米金属层(203)和第四介质层(204),且所述第一介质层(201)层叠在透明导电基底层(1)之上,所述第二介质层(202)层叠在第一介质层(201)之上,所述第三纳米金属层(203)层叠在第二介质层(202)之上,所述第四介质层(204)层叠在第三纳米金属层(203)之上。 | ||
搜索关键词: | 介质层 空穴传输层 纳米金属层 光电探测器 透明导电 基底层 制备 电子传输层 反射电极层 光电探测 四层结构 光敏层 探测器 探测 | ||
【主权项】:
1.一种基于新型空穴传输层的光电探测器,包括透明导电基底层(1)、新型空穴传输层(2)、探测光敏层(3)、电子传输层(4)和反射电极层(5),其特征在于:所述新型空穴传输层(2)为四层结构,包括第一介质层(201)、第二介质层(202)、第三纳米金属层(203)和第四介质层(204),且所述第一介质层(201)层叠在透明导电基底层(1)之上,所述第二介质层(202)层叠在第一介质层(201)之上,所述第三纳米金属层(203)层叠在第二介质层(202)之上,所述第四介质层(204)层叠在第三纳米金属层(203)之上,所述的第一介质层(201)为原子层沉积技术生长的Al
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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