[发明专利]一种纳米压印衬底固化装置有效
| 申请号： | 201810046179.2 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108196425B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 徐晓轩;王斌;梁菁;车颖;徐阳阳;时金蒙;文虹镜;杨江涛;林宝志 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人： | 马金华 |
| 地址： | 300000*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种纳米压印衬底固化装置，包括基座，所述基座上以矩形阵列方式开设有多个固定槽，所述的固定槽内设置有升降机构，所述的升降机构的升降部端部设置有衬底片，所述的衬底片上设置有压印胶层，相邻两个固定槽之间设置有分光装置，所述的固定槽的槽壁上设置有用于透光的透光部所述分光装置的底部设置有紫外线光源。本发明拥有固化时间短，固化效果好，且固化过程中紫外线不外射便于操作人员操作的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 衬底 固化 装置 | ||
【主权项】：
1.一种纳米压印衬底固化装置，其特征在于：包括基座(1)，所述基座(1)上以矩形阵列方式开设有多个固定槽(2)，所述的固定槽(2)内设置有升降机构(3)，所述的升降机构(3)的升降部端部设置有衬底片(4)，所述的衬底片(4)上设置有压印胶层(5)，相邻两个固定槽(2)之间设置有分光装置(6)，所述的固定槽(2)的槽壁上设置有用于透光的透光部(7)所述分光装置(6)的底部设置有紫外线光源(8)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南开大学，未经南开大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810046179.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
