[发明专利]一种纳米压印衬底固化装置

说明书

一种纳米压印衬底固化装置，包括基座，所述基座上以矩形阵列方式开设有多个固定槽，所述的固定槽内设置有升降机构，所述的升降机构的升降部端部设置有衬底片，所述的衬底片上设置有压印胶层，相邻两个固定槽之间设置有分光装置，所述的固定槽的槽壁上设置有用于透光的透光部所述分光装置的底部设置有紫外线光源。本发明拥有固化时间短，固化效果好，且固化过程中紫外线不外射便于操作人员操作的优点。

技术领域

本发明涉及纳米压印装置技术领域，具体涉及一种纳米压印衬底固化装置。

背景技术

纳米压印技术为首先在衬底上涂上一层薄层热塑形高分子材料。升温并达到此热塑性材料的玻璃化温度Tg之上。热塑性材料在高弹态下，黏度降低，流动性增强，随后将具有纳米尺度的模具压在上面，并施加适当的压力。热塑性材料会填充模具中的空腔，在此过程中，热塑性材料的厚度应较模具的空腔高度要大，从而避免模具与衬底的直接接触而造成损伤。模压过程结束后，温度降低使热塑性材料固化，因而能具有与模具的重合的图形。随后移去模具，并进行各相异性刻蚀去除残留的聚合物。接下来进行图形转移。图形转移可以采用刻蚀或者剥离的方法。刻蚀技术以热塑性材料为掩膜，对其下面的衬底进行各向异性刻蚀，从而得到相应的图形。剥离工艺先在表面镀一层金属，然后用有机溶剂溶解掉聚合物，随之热塑性材料上的金属也将被剥离，从而在衬底上有金属作为掩膜，随后再进行刻蚀得到图形。

现有技术中采用对紫外透明的石英玻璃或PDMS，光阻胶采用低粘度，光固化的单体溶液。先将低粘度的单体溶液滴在要压印的衬底上，结合微电子工艺，薄膜的淀积可以采用旋胶覆盖的方法，用很低的压力将模版压到晶圆上，使液态分散开并填充模版中的空腔。透过模具的紫外曝光促使压印区域的聚合物发生聚合和固化成型。最后刻蚀残留层和进行图形转移，得到高深宽比的结构。最后的脱模和图形转移过程同热压工艺类似。现有的紫外线固化技术存在多个缺点，首先固化时间较长，其次固化过程中需要在专用的紫外线固化室内进行，紫外线如果外泄对操作人员的健康产生影响，最后现有的普照式的紫外线固化方式不能保证每一个压印部分都能均匀固化，导致固化效果不佳。

发明内容

本发明的目的是提供一种纳米压印衬底固化装置，本发明提供一种能快速安全的进行紫外线固化的装置。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种纳米压印衬底固化装置，包括基座，所述基座上以矩形阵列方式开设有多个固定槽，所述的固定槽内设置有升降机构，所述的升降机构的升降部端部设置有衬底片，所述的衬底片上设置有压印胶层，相邻两个固定槽之间设置有分光装置，所述的固定槽的槽壁上设置有用于透光的透光部所述分光装置的底部设置有紫外线光源。

作为本发明的优选，还包括反射盖板，所述反射盖板的下方设置有与所述固定槽配合的固定块。

作为本发明的优选，所述固定块的下侧表面设置有反光镀面，所述的反光镀面上设置有增反膜。

作为本发明的优选，所述的透光部为减反射玻璃，所述的透光部靠近所述固定槽的端口处部分设置有斜反射部。

作为本发明的优选，所述的透光部的顶部设置有反射挡块，所述反射挡块与所述透光部连接一侧侧面上设置有反射镀膜。

作为本发明的优选，所述的基座底部设置有底座，所述的紫外线光源固定在所述底座上。

作为本发明的优选，所述的分光装置从下至上依次包括固定罩、反光锥筒、分光棱柱。

作为本发明的优选，所述的分光棱柱由外至内依次为外棱柱、内棱柱、出光圆柱，所述的出光圆柱的端部设置有球形分光部。

作为本发明的优选，所述的外棱柱与所述的内棱柱均为六角棱柱。

作为本发明的优选，所述外棱柱与所述的内棱柱的棱角间的夹角为30°。

综上所述，本发明具有如下有益效果：