[发明专利]用于控制传输穿过锥形石英拱形结构的光的光学系统在审
| 申请号： | 201810031844.0 | 申请日： | 2013-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN108051906A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·M·拉内什 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G02B17/00 | 分类号： | G02B17/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文所述的实施例大体涉及用于加热基板的设备。所述设备通常包括处理腔室，所述处理腔室具有基板支撑件于所述处理腔室中。多个灯被定位以提供通过光学透明拱形结构的辐射能量至位于所述基板支撑件上的基板。聚光组件位于所述腔室内，用以影响所述基板上的加热及温度分布，并且用以促进在基板上形成具有均匀特性的膜，所述特性比如密度。所述聚光组件能包括一或更多个反射器、光管或折射透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 传输 穿过 锥形 石英 拱形 结构 光学系统 | ||
【主权项】：
1.一种处理腔室，包括：腔室主体，所述腔室主体包括拱形结构，所述拱形结构允许辐射能量传输穿过所述拱形结构；基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述腔室主体内；多个灯，所述多个灯设置成相邻于所述拱形结构；和聚光组件，所述聚光组件定位于所述腔室主体内在所述多个灯与所述基板支撑件之间，其中：所述聚光组件包括多个同心环或近似于环的多边形近似物，所述同心环或所述近似于环的多边形近似物之间具有间隙且所述同心环或所述近似于环的多边形近似物包括允许辐射能量传输穿过的材料；并且所述同心环或所述近似于环的多边形近似物在所述同心环或所述近似于环的多边形近似物的相邻于所述间隙的侧壁上包括反射涂层。
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