[发明专利]流体参数的测量和用于流体参数的测量的传感器装置

摘要

一种使用传感器装置测量参数的方法，该传感器装置包括具有凹部的基底、跨所述凹部的跨元件、跨元件温度传感器(4；5；6)以及加热器元件。该方法包括操作所述传感器装置(1)以执行如下动作的步骤：通过跨元件温度传感器(4；5；6)测量跨元件温度信号(sm)；以及根据跨元件温度信号(sm)得到绝对跨元件温度(Tm)；以及通过所述传感器装置(1)使用所述绝对跨元件温度(Tm)作为对所述流体(g)的绝对温度(Tg)的度量以确定所述流体(g)的所述参数。本发明还涉及被配置成执行根据本发明的方法的传感器装置。

主权项

1.一种使用传感器装置(1)测量流体(g)的参数的方法，所述参数优选地为所述流体(g)的质量流量、所述流体(g)的热导率、所述流体(g)的热扩散率、所述流体(g)的体积比热、或者与所述流体(g)有关的任何其他参数，并且所述参数不同于绝对流体温度(Tg)但取决于绝对流体温度(Tg)，所述传感器装置(1)包括：基底(2)，具有凹部(21)；跨元件(3)，至少部分地跨所述凹部(21)；以及至少一个跨元件温度传感器(4；5；6)，被布置成提供跨元件温度信号(sm)；其中，所述传感器装置(1)能够被操作以测量所述流体(g)的所述参数；所述方法包括操作所述传感器装置(1)以执行如下动作的步骤：i)通过所述至少一个跨元件温度传感器(4；5；6)测量所述跨元件温度信号(sm)；ii)根据所述跨元件温度信号(sm)得到绝对跨元件温度(Tm)；iii)通过所述传感器装置(1)使用所述绝对跨元件温度(Tm)作为对所述流体(g)的绝对温度(Tg)的度量以确定所述流体(g)的所述参数。