[发明专利]集成光电振荡器有效
申请号: | 201810013244.1 | 申请日: | 2018-01-05 |
公开(公告)号: | CN108183380B | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 李明;唐健;郝腾飞;祝宁华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S1/02 | 分类号: | H01S1/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤宝平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种集成光电振荡器,包括:一光电子芯片和一电子芯片,其中光电子芯片中的电光转换器的输入端与电子芯片中的第二偏置器的输出端连接;该光电子芯片中的光电探测器的输出端与电子芯片中的第一偏置器的输入端连接;该光电子芯片和电子芯片制作在一导热基底上。本发明是用于为微波系统提供高频率,高频普纯度,低相位噪声,小尺寸,低成本的稳定微波信号源。该集成光电振荡器,通过将光电子器件集成于磷化铟基光电子芯片上,将电子器件集成于硅基或者印制电路板上,最后通过金丝键合的方式将两者结合起来形成回路,并固定于同一导热基地上,从而实现了光电振荡器的集成化,小型化,降低了微波信号源的成本。 | ||
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【主权项】:
1.一种集成光电振荡器,包括:一光电子芯片包括:一电光转换器;一光延时单元,其输入端与电光转换器的输出端连接;一光耦合器,其输入端口1与光延时单元的输出端连接,该光耦合器的端口3为光输出端;一光电探测器,其输入端与光耦合器的输出端口2连接;一电子芯片包括:一第一偏置器;一微波放大器,其输入端与第一偏置器的输出端连接;一可调谐电延迟线,其输入端与微波放大器的输出端连接;一微波滤波器,其输入端与可调谐电延迟线的输出端连接;一第一电功分器,其输入端口1与微波滤波器的输出端连接,该电功分器的端口3为微波输出端;一微波移相器,其输入端与第一电功分器的输出端口2连接;一第二偏置器,其输入端与微波移相器的输出端连接;其中光电子芯片中的电光转换器的输入端与电子芯片中的第二偏置器的输出端连接;该光电子芯片中的光电探测器的输出端与电子芯片中的第一偏置器的输入端连接;该光电子芯片和电子芯片制作在一导热基底上。
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