[发明专利]集成光电振荡器

权利要求书

1.一种集成光电振荡器，包括：

一光电子芯片包括：

一电光转换器；

一光延时单元，其输入端与电光转换器的输出端连接；

一光耦合器，其输入端口1与光延时单元的输出端连接，该光耦合器的端口3为光输出端；

一光电探测器，其输入端与光耦合器的输出端口2连接；

一电子芯片包括：

一第一偏置器，第一偏置器的微波输入端与光电探测器的输出端通过金丝键合连接；

一微波放大器，其输入端与第一偏置器的输出端连接；

一可调谐电延迟线，其输入端与微波放大器的输出端连接；

一微波滤波器，其输入端与可调谐电延迟线的输出端连接；

一第一电功分器，其输入端口1与微波滤波器的输出端连接，该电功分器的端口3为微波输出端；

一微波移相器，其输入端与第一电功分器的输出端口2连接；

一第二偏置器，其输入端与微波移相器的输出端连接，第二偏置器的微波输出端与电光转换器的输入端通过金丝键合相连；

其中光电子芯片中的电光转换器的输入端与电子芯片中的第二偏置器的输出端连接；该光电子芯片中的光电探测器的输出端与电子芯片中的第一偏置器的输入端连接；

该电子芯片为印制电路板，与光子芯片固定与同一导热基底上；可调谐电延迟线为片上集成的单路电衰减器和电延时器的串联组合或双路电衰减器和电延时器的串联组合，通过控制电延时器可实现微波频率的调谐，通过控制电衰减器可调谐谐振环路当中的损耗，降低后续器件非线性效应。

2.根据权利要求1所述的集成光电振荡器，其中电光转换器为直调激光器或为单频激光器加电光调制器。

3.根据权利要求1所述的集成光电振荡器，其中光延时单元为单路级联螺旋状的铟磷基光波导或双路级联螺旋状的铟磷基光波导。

4.根据权利要求1所述的集成光电振荡器，其中微波滤波器为平顶滤波器，用于滤出单一谐振的微波频率。

5.根据权利要求1所述的集成光电振荡器，其中光电探测器为铟磷基的高速率，高响应度光电探测器。

6.根据权利要求1所述的集成光电振荡器，其中光电子芯片与电子芯片通过导热粘结的方式固定于导热基板上。