[发明专利]离子注入方法以及离子注入装置

摘要

离子注入方法以及离子注入装置，以高精度迅速调整线性加速器的透镜参数。离子注入装置具备：多级线性加速单元(110)，包含多级高频谐振器和多级收敛透镜；第1射束测量部(160)，设置于多级线性加速单元(110)的中途，构成为使射束轨道(Z)的中心附近的射束部分通过，另一方面测量在射束轨道(Z)的中心附近的外侧被电极体(164)屏蔽的其他射束部分的电流量；第2射束测量部(170)，设置于多级线性加速单元(110)的下游，构成为测量从多级线性加速单元(110)射出的离子束的电流量；以及控制装置，构成为根据第1射束测量部(160)以及第2射束测量部(170)的测量结果调整多级收敛透镜的控制参数。

主权项

1.一种离子注入装置，其特征在于，具备：多级线性加速单元，其包含多级高频谐振器和多级收敛透镜，所述多级高频谐振器沿着设计上的射束轨道配置，构成为使沿着所述射束轨道输送的离子束加速，所述多级收敛透镜配置于各级高频谐振器之间，构成为使离子束在与所述射束轨道正交的x方向以及y方向中的至少一个方向上收敛，并整理被输送的离子束的在与所述射束轨道正交的平面中观察时的射束轮廓；第1射束测量部，其设置于所述多级线性加速单元的中途，包含在与所述射束轨道正交的平面中观察时至少避开所述射束轨道的中心附近而配置的电极体，构成为使所述射束轨道的中心附近的射束部分通过，另一方面测量在所述射束轨道的中心附近的外侧被所述电极体屏蔽的其他射束部分的电流量；第2射束测量部，其设置于所述多级线性加速单元的下游，构成为测量从所述多级线性加速单元射出的离子束的电流量；以及控制装置，其构成为根据所述第1射束测量部以及所述第2射束测量部的测量结果调整所述多级收敛透镜的控制参数，以便从所述多级线性加速单元射出的射束电流量成为目标值。