[发明专利]对准标记的边缘锐度评估有效
| 申请号： | 201810008145.4 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN109556509B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 焦尔达诺·迪·格雷戈里奥;安妮·泰;侯团起 | 申请（专利权）人： | 奥特斯(中国)有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王晖;李丙林 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于在部件载体(102)的制造期间分析对准精度的装置(100)，其中，装置(100)包括：评估单元(104)，其被配置成对从制造中的部件载体(102)的预成形体(110)上的至少一个对准标记(108)的至少部分检测到的图像数据上的至少一个对准标记(108)的边缘(106)的至少部分的边缘锐度进行评估；以及决策单元(112)，其被配置成基于所评估的边缘锐度决定是否接受预成形体(110)进行进一步处理。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 边缘 评估 | ||
【主权项】：
1.一种用于在部件载体(102)的制造期间分析对准精度的装置(100)，其中，所述装置(100)包括：评估单元(104)，其被配置成对从制造中的所述部件载体(102)的预成形体(110)上的至少一个对准标记(108)的至少部分检测到的图像数据上的至少一个对准标记(108)的边缘(106)的至少部分的边缘锐度进行评估；决策单元(112)，其被配置成基于所评估的边缘锐度决定是否接受所述预成形体(110)进行进一步处理。
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