[发明专利]对准标记的边缘锐度评估

说明书

一种用于在部件载体(102)的制造期间分析对准精度的装置(100)，其中，装置(100)包括：评估单元(104)，其被配置成对从制造中的部件载体(102)的预成形体(110)上的至少一个对准标记(108)的至少部分检测到的图像数据上的至少一个对准标记(108)的边缘(106)的至少部分的边缘锐度进行评估；以及决策单元(112)，其被配置成基于所评估的边缘锐度决定是否接受预成形体(110)进行进一步处理。

技术领域

本发明涉及一种用于在部件载体的制造期间分析对准精度的装置和方法，一种用于制造部件载体的设备，一种计算机可读介质以及一种程序元件。

背景技术

在配备有一个或多个电子部件的部件载体的产品功能性增多、且这些电子部件日益小型化以及待安装在部件载体诸如印刷电路板上的电子部件的数量不断增长的背景下，越来越强大的阵列状部件或具有若干电子部件的封装件被采用，其具有多个触点或接点，这些触点之间的间隔越来越小。去除在操作期间由这些电子部件和部件载体本身生成的热日益成为问题。同时，部件载体应当是机械坚固且电可靠的，以便即使在恶劣状况下也能运行。

此外，适当地对准部件载体的组成部分是一个问题。在部件载体制造中还可能出现配准精度方面的其他问题。特别地，在对制造中的部件载体的层结构进行图案化方面，在曝光干膜时适当的对准精度是重要的。

发明内容

本发明的目的在于实现以高空间精度制造部件载体。

为了实现上述目的，提供了根据独立权利要求的一种用于在部件载体的制造期间分析对准精度的装置和方法，一种用于制造部件载体的设备，一种计算机可读介质以及一种程序元件。

根据本发明的一示例性实施方案，提供了一种用于在部件载体的制造期间分析对准精度的装置，其中，装置包括：评估单元，其被配置成对从制造中(即，正在制造)的部件载体的预成形体(诸如面板)上的至少一个对准标记(marker)的至少部分检测到的图像数据上的至少一个对准标记的边缘(margin)(或边沿(edge))的至少部分的边缘锐度(或边沿锐度)进行评估；以及决策单元，其被配置成基于所评估的边缘锐度(其因而可以用作将预成形体分类成通过或未通过精度规定的决策标准)决定是否接受预成形体进行进一步处理(特别地进行干膜曝光)。

根据本发明的另一示例性实施方案，提供了一种用于制造部件载体的设备，其中，设备包括：具有上述特征的用于分析制造中的部件载体的预成形体上的对准精度的装置；以及被配置成(特别地仅)当决策单元决定接受预成形体进行进一步处理时触发预成形体的顶部上的掩膜层(或干膜)的曝光的曝光单元。

根据本发明的又一示例性实施方案，提供了一种在部件载体的制造期间分析对准精度的方法，其中，方法包括：对从制造中的部件载体的预成形体上的至少一个对准标记的至少部分检测到的图像数据上的至少一个对准标记的边缘的至少部分的边缘锐度进行评估，以及基于所评估的边缘锐度决定是否接受预成形体进行进一步处理。

根据本发明的又一示例性实施方案，提供了一种程序元件(例如，源代码或可执行代码形式的软件程序)，当被处理器(诸如微处理器或CPU)执行时，该程序元件适于控制或实施具有上述特征的方法。

根据本发明的再一示例性实施方案，提供了一种计算机可读介质(例如CD、DVD、U盘、软盘或硬盘)，其中存储有计算机程序，当被处理器(诸如微处理器或CPU)执行时，计算机程序适于控制或实施具有上述特征的方法。

可以根据本发明的实施方案执行的数据处理可以由计算机程序(即软件)实现，或通过使用一个或多个专用电子优化电路(即硬件)实现，或以混合形式实现(即由软件组件和硬件组件实现)。