[发明专利]曝光旋转治具有效
| 申请号： | 201810004606.0 | 申请日： | 2018-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN108227403B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 吴德 | 申请（专利权）人： | 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 51226 成都希盛知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨冬梅;张行知<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种曝光旋转治具，包含支撑架和容纳组件。支撑架具有相对的二定位板。容纳组件可转动地设置于该二定位板内侧。容纳组件包含二内框板、棘轮机构、二旋转轴、复数个固定轴以及复数个卡条。二内框板分别位于二定位板的内侧。棘轮机构位于该二内框板其中之一与该二定位板其中之一之间。旋转轴穿过二内框板与二定位板，且二旋转轴其中之一贯穿棘轮机构。每一固定轴的两端分别固定于二内框板的角落。每一卡条可拆卸地跨接于二内框板。棘轮机构可以让容纳组件于支撑架上旋转多个定位角度，因此在曝光过程中可在不取下基板的前提下进行基板的多个部分曝光。曝光旋转治具可以提高产出效率，并减少治具的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 内框板 定位板 棘轮机构 容纳组件 治具 旋转轴 支撑架 曝光 固定轴 复数 卡条 曝光过程 可拆卸 可转动 下基板 基板 跨接 穿过 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种曝光旋转治具，其特征在于，包含：/n一支撑架，具有相对的二定位板；以及/n一容纳组件，可转动地设置于该二定位板内侧，该容纳组件包含：/n二内框板，分别位于该二定位板的内侧；/n一棘轮机构，位于该二内框板其中之一与该二定位板其中之一之间；/n二旋转轴，穿过该二内框板与该二定位板，且该二旋转轴其中之一贯穿该棘轮机构；/n复数个固定轴，每一该些固定轴的两端分别固定于该二内框板的角落；以及/n复数个卡条，可拆卸地跨接于该二内框板。/n
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