[发明专利]曝光旋转治具有效
申请号: | 201810004606.0 | 申请日: | 2018-01-03 |
公开(公告)号: | CN108227403B | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 吴德 | 申请(专利权)人: | 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 51226 成都希盛知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨冬梅;张行知<国际申请>=<国际公布> |
地址: | 611730 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内框板 定位板 棘轮机构 容纳组件 治具 旋转轴 支撑架 曝光 固定轴 复数 卡条 曝光过程 可拆卸 可转动 下基板 基板 跨接 穿过 贯穿 | ||
1.一种曝光旋转治具,其特征在于,包含:
一支撑架,具有相对的二定位板;以及
一容纳组件,可转动地设置于该二定位板内侧,该容纳组件包含:
二内框板,分别位于该二定位板的内侧;
一棘轮机构,位于该二内框板其中之一与该二定位板其中之一之间;
二旋转轴,穿过该二内框板与该二定位板,且该二旋转轴其中之一贯穿该棘轮机构;
复数个固定轴,每一该些固定轴的两端分别固定于该二内框板的角落;以及
复数个卡条,可拆卸地跨接于该二内框板。
2.如权利要求1所述之曝光旋转治具,其中该些内框板的角落具有复数个定位孔,且该些固定轴插入该些定位孔中。
3.如权利要求1所述之曝光旋转治具,其中该些内框板的边缘具有复数个凹部,该些卡条定位于该些凹部中。
4.如权利要求3所述之曝光旋转治具,其中该些内框板更包含:
复数个拨块,分别枢接于该些凹部的开口处;以及
复数个磁铁,位于该些内框板中,使得该些拨块分别由该些磁铁吸附而定位。
5.如权利要求1所述之曝光旋转治具,其中该些卡条具有复数个卡槽,用以定位至少一待曝光基板。
6.如权利要求1所述之曝光旋转治具,其中该棘轮机构包含:
一棘轮元件,由该二旋转轴其中之一贯穿;以及
一伸缩块,位于该二定位板其中之一的内侧,且可伸缩地抵接该棘轮元件。
7.如权利要求6所述之曝光旋转治具,其中该棘轮元件上具有一本体与围绕该本体的复数个凸齿,每一该些凸齿之二侧缘与该本体的连接处具有二接点,且该二接点与该本体之圆心的连线夹45度。
8.如权利要求7所述之曝光旋转治具,其中每一该些凸齿的该二侧缘自该本体延伸而出,该二侧缘的其中之一为弧形,且弧形之该侧缘的长度大于该二侧缘的另一者。
9.如权利要求1所述之曝光旋转治具,其中该支撑架的底部具有一镂空区,该曝光旋转治具更包含:
一底座,位于该支撑架下方,该底座具有一底板与邻接该底板的一侧壁,该底板与该侧壁定义出一空间,且该空间连通该支撑架的该镂空区。
10.如权利要求9所述之曝光旋转治具,其中当该容纳组件倾斜地位于该二定位板内侧时,该容纳组件至少部分位于该底座的该空间中。
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