[发明专利]一种规则排列多孔纳米结构薄膜的模版拓印方法

摘要

本发明提供一种规则排列多孔纳米结构薄膜的模版拓印方法，属于纳米加工制备技术领域。该方法首先选取带有多孔纳米孔结构的阳极氧化铝薄膜做为衬底；然后利用磁控溅射、热蒸镀、分子束外延、金属有机气相化学沉积、原子层沉积等方法在选取好的阳极氧化铝薄膜上沉积单一的金属、磁性材料、半导体成份及其混合成份；再将带有薄膜的表面粘贴到胶带上或者表面旋涂透明的聚合物溶液后烘干；最后用碱性、酸性或金属盐溶液去除阳极氧化铝薄膜，得到规则排列的多孔纳米结构薄膜。该方法操作过程简单易行，制得的薄膜具有独特的鞋钉状纳米孔结构。

主权项

1.一种规则排列多孔纳米结构薄膜的模版拓印方法，其特征在于：包括步骤如下：(1)选取带有多孔纳米孔结构的阳极氧化铝薄膜作为衬底；(2)在步骤(1)选取好的阳极氧化铝薄膜上沉积单一的金属、磁性材料、半导体成份或上述的混合成份；(3)将步骤(2)中沉积后的阳极氧化铝薄膜的表面粘贴到胶带上或者在其表面旋涂透明的聚合物溶液后烘干；(4)用碱性、酸性或金属盐溶液去除步骤(3)中处理后的衬底上的阳极氧化铝薄膜；(5)将步骤(4)中得到的样品从溶液中捞出并用髙纯水或去离子水反复浸泡以去除样品表面的杂质粒子，然后烘干，得到规则排列的多孔纳米结构薄膜。