[发明专利]蒸镀掩模及蒸镀掩模的制造方法有效
| 申请号： | 201780095328.8 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN111148861B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 山渕浩二;西口昌男 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H05B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 掩模片(15)上所形成的有效部(YA)中的第一区域(YA1)针对被蒸镀基板的每个有源区域(3)而设且形状与有源区域(3)对应，有效部(YA)的第二区域(YA2)位于第一区域(YA1)外，并由支撑条(13)遮蔽多个蒸镀孔(H)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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