[发明专利]利用RF溅射装置形成OLED用有机薄膜层的方法及RF溅射装置及用于RF溅射装置的靶材成型装置在审
| 申请号： | 201780093821.6 | 申请日： | 2017-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN111051565A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 苏文淑 | 申请（专利权）人： | 苏文淑 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/12;C23C14/56;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;宋东颖 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明在形成OLED用有机薄膜层时使用RF溅射装置。因此，根据本发明的利用RF溅射装置制作OLED用有机薄膜层的方法包括：在RF溅射装置的腔室内部的阴极上设置OLED有机薄膜层制作用靶材的步骤；使上述腔室内部保持真空之后，注入反应气体的步骤；对上述靶材施加磁场及RF功率的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 rf 溅射 装置 形成 oled 有机 薄膜 方法 用于 成型 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏文淑，未经苏文淑许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780093821.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
