[发明专利]有机EL显示装置的制造方法及制造装置在审
| 申请号： | 201780089292.2 | 申请日： | 2017-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN110476483A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 岸本克彦 | 申请（专利权）人： | 堺显示器制品株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/50 |
| 代理公司： | 44334 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郝家欢<国际申请>=PCT/JP2017 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一个实施方式的有机EL显示装置的制造方法，在与蒸镀源相对的面实施改质处理(S2)，在蒸镀掩模的一个面安装支撑基板(S3)，通过朝向蒸镀掩模使期望的有机材料飞散，从而在支撑基板的规定的位置对由多个层构成的有机层进行层叠(S4)，在有机层之上形成第二电极(S8)。并且，在由多个层构成的有机层的层叠之前、由多个层构成的有机层的各有机层的层叠之前或者之后、及所述第二电极的形成之前的至少1个时间点，使蒸镀掩模的露出面或者在蒸镀掩模上形成的有机层的露出面改质。 | ||
| 搜索关键词： | 有机层 蒸镀掩模 第二电极 支撑基板 露出面 有机EL显示装置 改质处理 有机材料 面安装 时间点 蒸镀源 飞散 改质 期望 制造 | ||
【主权项】：
1.一种有机EL显示装置的制造方法，其特征在于，包含：/n准备至少形成TFT及第一电极的支撑基板；/n在配置于蒸镀腔室的内部的蒸镀掩模上，使所述第一电极相对而安装所述支撑基板；/n通过朝向所述蒸镀掩模的与所述支撑基板相对的面的相反面，从与所述蒸镀掩模分离的位置使有机材料飞散，从而对由多个层构成的有机层进行层叠；以及/n在所述有机层之上形成第二电极，/n在所述由多个层构成的有机层的层叠之前、所述由多个层构成的有机层的各有机层的层叠之前或者之后及所述第二电极的形成之前的至少1个时间点，进行使所述蒸镀掩模的露出面或者在所述蒸镀掩模上形成的有机层的露出面改质的改质处理。/n
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