[发明专利]氮氧化物减少设备和气体处理设备在审
| 申请号： | 201780088862.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN110612151A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 崔奫修;高燦奎;S.马尼 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹韩国有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/56 | 分类号： | B01D53/56;B01D53/32;B01D53/75;B01D47/06;B01D53/78;H05H1/24 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹松青;傅永霄 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本公开提供一种气体处理设备，所述气体处理设备包括：反应室，其被构造成通过等离子体处理从外部供应的气体，该经处理的气体包含氮氧化物；以及氮氧化物减少设备，其连接到反应室。氮氧化物减少设备包括冷却单元，该冷却单元被构造成将经处理的气体冷却到低于氮氧化物产生温度的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 氮氧化物 气体处理设备 减少设备 冷却单元 反应室 氮氧化物产生 等离子体处理 气体冷却 外部 | ||
【主权项】：
1.一种气体处理设备，其包括：/n反应室，其被构造成通过等离子体处理从外部供应的气体，经处理的气体包含氮氧化物；以及/n氮氧化物减少设备，其连接到所述反应室，/n其中，所述氮氧化物减少设备包括冷却单元，所述冷却单元被构造成将所述经处理的气体冷却到低于氮氧化物产生温度的温度。/n
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