[发明专利]具有输送锁定件的光学配置，尤其是光刻系统有效
| 申请号： | 201780087378.1 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN110337613B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | R.兹韦林;S.弗里茨谢;H.瓦格纳;F.阿勒斯;J.普罗希瑙;M.埃拉思;V.库利茨基;M.内夫齐 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明关于光学配置，例如光刻系统，其包含：第一部件(19)，特别是承载框；第二部件(13)，其可相对第一部件(19)移动，特别是反射镜；以及至少一个止挡件(20)，其具有至少一个止挡面(20a、20b)用于限制第二部件(13)相对第一部件(19)的移动。在本发明一个方面中，光学配置(较佳为止挡件(20))具有用于固定第二部件(13)的固定装置(23)，其至少包含可相对止挡件(20)的止挡面(21a、21b)移动的固定元件(24)。本发明的其他方面同样关于具有固定装置或具有输送锁定件的光学配置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 输送 锁定 光学 配置 尤其是 光刻 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光学配置，特别是光刻系统(1)，包含：第一部件(19)，特别是承载框；第二部件(13)，该第二部件相对于该第一部件(19)是可移动的，特别是反射镜；以及至少一个止挡件(20)，具有至少一个止挡面(21a，b)，用以限制该第二部件(13)相对于该第一部件(19)的移动，其特征在于，该光学配置、较佳为该止挡件(20)，具有用以固定该第二部件(13)的固定装置(23)，该固定装置至少包含相对于该止挡件(20)的止挡面(21a，b)可移动的固定元件(24)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司，未经卡尔蔡司SMT有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780087378.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
