[发明专利]固体光检测器在审
申请号: | 201780087065.6 | 申请日: | 2017-02-21 |
公开(公告)号: | CN110326106A | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 柄泽朋宏;古宫哲夫;森谷直司;广瀬竜太 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | H01L27/14 | 分类号: | H01L27/14;H01L31/0232;H04N5/369 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在此固体光检测器(10)中,功能层(13)构成为各波面彼此的行进方位和波面形状中的至少一者不一致,以避免各波面互相干涉。 | ||
搜索关键词: | 光检测器 波面 波面形状 行进方位 不一致 功能层 干涉 | ||
【主权项】:
1.一种固体光检测器,具备:多个受光部,所述多个受光部输出与所接收到的光的强度相应的信号;表面膜,其用于保护所述受光部;以及功能层,其设置于所述表面膜的表面上,其中,所述功能层构成为:入射到所述功能层的光的平面波从受光面渗透到所述受光部内所形成的第一波面、所述平面波不向所述受光部渗透而在所述受光面发生反射之后在所述功能层的表面发生反射并再次渗透到所述受光部内所形成的第二波面、以及所述平面波在产生第二波面之前在存在于所述功能层和所述表面膜内的折射率边界面发生反射之后渗透到所述受光部内所形成的各波面彼此的行进方位和波面形状中的至少一者不一致,以避免各波面互相干涉。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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