[发明专利]设备和操作设备的方法

摘要

本发明涉及一种系统(100)，其具有：产生辐射的辐射源(106A)；在系统(100)中引导辐射的多个光学元件(110、112、114、116、118)；N1个阵列(210‑260)，其中N1≥1，其中N1个阵列(210‑260)中的每一个包括至少一个致动器/传感器装置(311‑31N、321‑32N、331‑33N、341‑34N、351‑35N、361‑36N)，其与光学元件(110、112、114、116、118)之一配对；驱动N1个阵列(210‑260)的N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)，其中N2≥2；以及驱动N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)的N3个中央驱动单元(510、520)，其中N3≥1。因此，防止热点并且热分布是协调且优化的。此外提供了致动器/传感器装置的冗余致动可能性，所述致动可能性增加了在故障的事情中系统的可用性。

主权项

1.一种设备(100)，包括：辐射源(106A)，产生辐射；多个光学部件(110、112、114、116、118)，在所述设备(100)中引导所述辐射；N1个阵列(210‑260)，其中N1≥1，其中所述N1个阵列(210‑260)中的每一个包括至少一个致动器/传感器装置(311‑31N、321‑32N、331‑33N、341‑34N、351‑35N、361‑36N)，其被分配给所述光学部件(110、112、114、116、118)之一；N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)，驱动所述N1个阵列(210‑260)，其中N2≥2；以及N3个中央驱动单元(510、520)，驱动所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)，其中N3≥1，其中所述N1个阵列(210‑260)、所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)以及所述N3个中央驱动单元(510、520)布置在所述设备(100)的真空外壳(137)中，其中穿过所述真空外壳(137)用于数据交换和/或电压供应的外置接口装置(800)耦接到所述N3个中央驱动单元(510、520)的相应的内置接口装置(511、521)，使得所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)独立于它们的数目N2作为单个驱动单元相对于所述外置接口装置(800)是可见的。