[发明专利]设备和操作设备的方法

权利要求书

1.一种设备(100)，包括：

辐射源(106A)，产生辐射；

多个光学部件(110、112、114、116、118)，在所述设备(100)中引导所述辐射；

N1个阵列(210-260)，其中N1≥1，其中所述N1个阵列(210-260)中的每一个包括至少一个致动器/传感器装置(311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N)，其被分配给所述光学部件(110、112、114、116、118)之一；

N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)，驱动所述N1个阵列(210-260)，其中N2≥2；以及

N3个中央驱动单元(510、520)，驱动所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)，其中N3≥1，

其中所述N1个阵列(210-260)、所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)以及所述N3个中央驱动单元(510、520)布置在所述设备(100)的真空外壳(137)中，其中穿过所述真空外壳(137)用于数据交换和/或电压供应的外置接口装置(800)耦接到所述N3个中央驱动单元(510、520)的相应的内置接口装置(511、521)，使得所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)独立于它们的数目N2作为单个驱动单元相对于所述外置接口装置(800)是可见的。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)中的每一个耦接到所述N3个中央驱动单元(510、520)中的每一个，使得所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)中的每一个是可由所述N3个中央驱动单元(510、520)中的每一个驱动的。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)中的每一个连接到所述N1个阵列(210-260)中的至少两个，其中2≤N2≤N1。

4.根据权利要求1或2所述的设备，其中，在N1≥2的情况下，所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)中的每一个通过对应的连接件(611、61N；661、66N)连接到所述N1个阵列(210-260)中特定的一个中的每一个致动器/传感器装置(311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N)。

5.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述N1个阵列(210-260)中的每一个通过主要连接件(610-660)连接到所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)之一，并且通过次级连接件(710-760)连接到所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)中的另一个或所述N3个中央驱动单元(510、520)之一，其中N1≥1。

6.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述致动器/传感器装置(311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N)实施为位移所述光学部件(110、112、114、116、118)的致动器装置，确定所述光学部件(110、112、114、116、118)的位置的传感器装置，或者位移所述光学部件(110、112、114、116、118)并确定所述光学部件(110、112、114、116、118)的位置的致动器和传感器装置。

7.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述设备(100)实施为多反射镜系统或光刻设备，特别是EUV光刻设备。

8.根据权利要求1或2所述的设备，其中，在N3＝1的情况下，所述中央驱动单元(510)、所述N2个局部驱动单元(410、420、430、440、450、460)以及所述N1个阵列(210-260)以树结构(B)连接。