[发明专利]接合装置以及接合对象物的高度检测方法有效
| 申请号： | 201780084465.1 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN110249199B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 早田滋;富山弘己 | 申请（专利权）人： | 株式会社新川 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03;G02B7/28;H01L21/52;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的接合装置(100)及接合对象物的高度检测方法包括光学系统(20)、获取光学系统(20)所成像的像作为图像(14)的摄像元件(70)、对电子零件(13)进行照明的照明单元(30)、以及进行摄像元件(70)所获取的图像的处理的控制部(80)，并且控制部(80)通过相对于光轴(24)倾斜的第一倾斜光路对电子零件(13)进行照明而获取电子零件(13)的第一图像，通过相对于光轴(24)朝向与第一倾斜光路相反之侧倾斜的第二倾斜光路对电子零件(13)进行照明而获取电子零件(13)即被摄体的第二图像，基于第一图像与第二图像的位置偏移量计算电子零件(13)的自基准高度算起的变化量。由此，利用简便的方法进行接合装置的零件或被摄体的高度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 接合 装置 以及 对象 高度 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种接合装置，其特征在于，包括：光学系统，使被摄体的像成像；摄像元件，获取所述光学系统所成像的像作为图像；照明单元，包含多个光源，通过所述光学系统的光路对所述被摄体进行照明；以及控制部，进行所述摄像元件所获取的所述图像的处理；并且所述控制部是通过所述光学系统的朝向所述被摄体的第一光路对所述被摄体进行照明并利用所述摄像元件获取所述被摄体的第一图像，通过相对于所述第一光路而倾斜的第二光路对所述被摄体进行照明并利用所述摄像元件获取所述被摄体的第二图像，基于所述第一图像与所述第二图像的位置偏移量计算所述被摄体的自基准高度算起的变化量。
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