[发明专利]摄像方法以及摄像装置

摘要

在利用来自被摄像物的反射光和参照光的干涉来对容器内的被摄像物进行摄像的技术中，确定透过容器的壁部进行摄像的断层图像的焦点位置。当将参照镜定位于到物体光学系对焦于容器的第一主面时的第一主面为止的物体光路长度与参照光路长度相等的位置时，将来自容器的第二主面的反射光的强度成为最大的物体光学系的焦点位置调整量作为第二调整量，将由干涉信号求出的反射光强度分布中的物体光学系的光轴方向的第一主面与第二主面的距离作为第一距离。在由将物体光学系的焦点位置调整量设定于第三调整量而取得的干涉信号求出的反射光强度分布中，将与光轴方向的第一主面的距离为由第三调整量与第二调整量之差乘以介质的折射率的平方所得的值和第一距离之和表示的第二距离的位置，作为物体光学系的焦点位置。

主权项

1.一种摄像方法，其是对具有透光性的壁部的容器所载置的介质中的被摄像物进行断层摄像的摄像方法，其特征在于，具备：使信号光与参照光发生干涉并取得与干涉光的检测结果对应的干涉信号的工序，其中，该信号光是使从光源出射的低相干光所分支的一个分支光向所述被摄像物入射并使其反射光透过所述壁部而通过物体光学系进行聚光所得到的，该参照光是使另一个分支光在参照镜进行反射所得到的；基于所述干涉信号而求出所述被摄像物的反射光强度分布并由该反射光强度分布生成断层图像的工序；以及确定所述断层图像内的所述物体光学系的焦点位置的工序，当将所述信号光的光路长度称为物体光路长度，并将所述参照光的光路长度称为参照光路长度时，将所述物体光学系对焦于所述壁部的主面中的所述物体光学系侧的第一主面时的所述物体光学系的焦点位置调整量作为第一调整量，当将所述参照镜定位于到所述物体光学系的焦点位置调整量为所述第一调整量时的所述第一主面为止的所述物体光路长度与所述参照光路长度相等的位置时，将来自所述壁部的主面中的所述被摄像物侧的第二主面的反射光的强度成为最大的所述物体光学系的焦点位置调整量作为第二调整量，将由所述干涉信号求出的所述反射光强度分布中的所述物体光学系的光轴方向的所述第一主面与所述第二主面的距离作为第一距离，在由将所述物体光学系的焦点位置调整量设定于在与所述第一调整量之间夹有所述第二调整量的第三调整量而取得的所述干涉信号求出的所述反射光强度分布中，将与所述光轴方向的所述第一主面的距离为由所述第三调整量与所述第二调整量之差乘以所述介质的折射率的平方所得的值和所述第一距离之和表示的第二距离的位置，作为与该反射光强度分布对应的所述断层图像内的所述物体光学系的所述焦点位置。