[发明专利]使用激光束制备结构化的晶核层的方法和相应的设备有效
| 申请号： | 201780078259.X | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110087816B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | B.沙因勒 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;B23K26/00;B82B3/00;B23K26/073;B23K26/08;B23K26/354;B23K26/0622;C01B32/158;B23K101/16;B23K101/34;B23K103/08;B23K103/10;B23K103/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 任丽荣 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备结构化的晶核层的方法，所述晶核层用于在其上沉积出碳纳米管(16)，其中，之前在衬底(1)上涂覆的金属层通过激光束(4)被施加能量，使得所述金属层变形成各个岛状物，其中，所述激光束(4)被展宽为在横截面中呈线形的光束(5)，用所述光束同时照射所述金属层的线形光照区域(15)，所述线形光照区域(15)沿着横向于线形光照区域的延伸方向的方向在所述金属层上移动。一种用于实施所述方法的设备具有用于运输衬底的装置(9、10)，所述衬底具有在其上涂覆的金属层，并且具有用于产生激光束(4)的激光器(6)和用于展宽激光束以便产生线形光照区域(15)的装置(7)，其中，所述装置(7)布置为，使线形光照区域(15)垂直于衬底(1)的运输方向延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 激光束 制备 结构 晶核 方法 相应 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备结构化的晶核层的方法，所述晶核层用于在其上沉积出碳纳米管(16)，其中，之前在衬底(1)上涂覆的金属层(2)通过激光束(4)被施加能量，使得所述金属层(2)变形成分离的岛状物(3)，其特征在于，所述激光束(4)被展宽为在横截面中呈线形的光束(5)，用所述光束同时照射所述金属层(2)的线形的光照区域(15)，所述光照区域(15)沿着横向于光照区域的延伸方向的方向在所述金属层(2)上移动。
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