[发明专利]制品的压印设备和方法有效
申请号: | 201780077125.6 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN110383423B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 近藤阳介 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L21/027 | 分类号: | H01L21/027;B29C59/02 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 贾金岩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 压印设备包含:排放部分,其具有排放端口且通过排放端口排放压印材料;可移动的载台104,其保持基板;和控制单元,其控制载台104的移动。控制单元控制载台的移动使得:在图案形成在多个区域中的第一区域中时到图案形成在多个区域中的不同于第一区域的第二区域中时的时段期间,载台不通过第一区域经过面向排放端口的面向位置;在从面向排放端口的面向位置沿着基板产生气流的状态下在排放部件已经将压印材料最终排放到基板时的时刻起已流逝预定时间之后,载台通过形成图案的区域经过面向位置。 | ||
搜索关键词: | 制品 压印 设备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种通过使用模具在基板的多个区域中形成压印材料的图案的压印设备,所述压印设备包括:排放单元,其具有排放端口且从所述排放端口排放压印材料;载台,其保持所述基板并且能够移动;和控制单元,其控制载台的移动,其中,在图案形成在所述多个区域中的第一区域中之后直到图案形成在不同于所述多个区域中的第一区域的第二区域中为止的时段期间,所述控制单元不允许所述第一区域穿过面向所述排放端口的面向部分,且其中,在从所述排放单元利用在面向所述排放端口的所述面向部分处沿着所述基板产生的气流将所述压印材料最终排放到所述基板起已流逝预定时间之后,所述控制单元控制所述载台的移动,使得允许形成图案的所述多个区域穿过所述面向部分。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造