[发明专利]用于静电吸盘的新式修复方法

摘要

本公开内容的实施方式涉及整修烧结或等离子体喷涂的静电吸盘的方法。起初，将使用过的静电吸盘主体的一部分移除，以暴露底表面。接着，使用悬浮浆料等离子体喷涂工艺，将新的介电材料层沉积至底表面上。悬浮浆料等离子体喷涂工艺可将纳米尺寸的介电材料的悬浮浆料雾化成为小滴流，并且接着所述小滴流被注入等离子体放射内，以形成部分地熔融的滴。将部分地熔融的滴投射在底表面上，以在底表面上形成介电材料层。随后，选择性地移除新的介电材料层的材料，以形成台面。在清洁后，经整修的静电吸盘已准备好恢复使用。

主权项

1.一种用于整修静电吸盘的方法，包含以下步骤：移除静电吸盘主体的第一部分，以暴露所述静电吸盘主体的第二部分，其中所述第一部分具有在所述静电吸盘主体的顶表面下方的第一深度，并且所述第二部分具有在所述静电吸盘主体的所述顶表面下方的第二深度；使用悬浮浆料等离子体喷涂工艺(suspension slurry plasma sprayprocess)将介电材料层沉积至所述第二部分上，所述悬浮浆料等离子体喷涂工艺包含：产生等离子体放射；将介电材料的悬浮浆料雾化(atomizing)成为小滴(droplet)流，所述悬浮浆料包含所述介电材料的纳米尺寸的固态颗粒，所述介电材料的所述纳米尺寸的固态颗粒分散至液态或半液态载体物质(carrier substance)内；在不使用载气的情况下，将所述小滴流注入所述等离子体放射内，以形成部分地熔融的滴；和通过将所述部分地熔融的滴投射在所述静电吸盘主体的所述第二部分上，而将介电材料层形成在所述暴露的第二部分上；和选择性地从所述介电材料层移除材料，以建立新的顶表面。