[发明专利]用于除去钝化盖帽层的稀土氮化物结构、器件和方法在审
| 申请号： | 201780075403.4 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN110073477A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | F·纳塔利;B·J·鲁克;H·J·特罗达尔;J·R·彭庄臣 | 申请（专利权）人： | 维多利亚联科有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/36 | 分类号： | H01L21/36 |
| 代理公司： | 青岛联智专利商标事务所有限公司 37101 | 代理人： | 迟姗;刘丹丹 |
| 地址： | 新西兰*** | 国省代码： | 新西兰;NZ |
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| 摘要： | 本发明涉及一种结构或器件，其包括稀土氮化物材料和用于钝化稀土氮化物材料的可去除盖帽层。 | ||
| 搜索关键词： | 稀土氮化物 盖帽层 钝化 可去除 | ||
【主权项】：
1.结构或器件(1)，包括：‑稀土氮化物材料(3)，以及‑用于钝化稀土氮化物材料的可去除盖帽层(5)，其中，可去除钝化盖帽层(5)包括或由钐、铕、铊、锑、铋、锌、砷、银、锶、镉、钙、铅、钠或碲组成；或仅由铟组成。
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