[发明专利]同时测量既可以是动态的也可以是静态的力的测量传感器有效
| 申请号： | 201780074190.3 | 申请日： | 2017-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN110036267B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 克劳迪奥·卡瓦洛尼;K·普夫鲁格 | 申请（专利权）人： | 基斯特勒控股公司 |
| 主分类号： | G01L5/167 | 分类号： | G01L5/167;G01L1/16;H01L41/113;H01L41/083 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;谢强 |
| 地址： | 瑞士温*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于同时测量既可以是动态的也可以是静态的力(F)的测量传感器(1)；具有至少一个压电式传感元件(10，10′)；力(F)在压电式传感元件(10，10′)的元件表面上产生电极化电荷，产生的电极化电荷的数量与力(F)的大小成比例；具有谐振元件(20)，其可以被激励到至少一个谐振频率(f)；力(F)沿着力方向施加在压电式传感元件(10，10′)上和谐振元件(20)上；力(F)在谐振元件(20)中引起横向应变(Q)，横向应变(Q)在谐振元件(20)中沿着横向方向发生，该横向方向与力方向形成一非零角度，横向应变(Q)的大小与力(F)的大小成比例；横向应变(Q)产生谐振频率(f)的频率变化(Δf)，该频率变化是力(F)的函数。 | ||
| 搜索关键词： | 同时 测量 可以 动态 静态 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于同时测量既可以是动态的也可以是静态的力(F)的测量传感器(1)；该测量传感器具有至少一个压电式传感元件(10，10′)；其中，所述力(F)在所述压电式传感元件(10，10′)的元件表面上产生电极化电荷，所产生的电极化电荷的数量与所述力(F)的大小成比例；该测量传感器还具有谐振元件(20)，所述谐振元件可以被激励到至少一个谐振频率(f)；其中，所述力(F)沿着力方向施加在所述压电式传感元件(10，10′)上和所述谐振元件(20)上；其特征在于，所述力(F)在所述谐振元件(20)中引起横向应变(Q)，该横向应变(Q)在所述谐振元件(20)中沿着横向方向发生，该横向方向与所述力方向形成一非零的角度，所述横向应变(Q)的大小与所述力(F)的大小成比例；并且所述横向应变(Q)产生所述谐振频率(f)的频率变化(Δf)，该频率变化是所述力(F)的函数。
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