[发明专利]使用神经网络的光谱监测有效
| 申请号： | 201780073024.1 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110036464B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | B·切里安 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 处理基板的方法包括以下步骤：使基板经受修改所述基板的外层的厚度的处理，在处理期间测量从所述基板反射的光的光谱，缩减测得的光谱的维度以产生多个分量值，使用人工神经网络产生表征值，以及基于所述表征值来确定停止处理所述基板或调整处理参数中的至少一个。所述人工神经网络具有接收所述多个分量值的多个输入节点、输出所述表征值的输出节点以及将所述输入节点连接至所述输出节点的多个隐藏节点。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 神经网络 光谱 监测 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制基板的处理的计算机程序产品，所述计算机程序产品有形地实施于非瞬时计算机可读取介质中，并且包括用于使处理器执行以下操作的指令：从原位光监测系统接收从正进行处理的基板反射的光的测得的光谱，所述处理修改所述基板的外层的厚度；缩减所述测得的光谱的维度以产生多个分量值；使用人工神经网络来产生表征值，所述人工神经网络具有接收所述多个分量值的多个输入节点、输出所述表征值的输出节点以及将所述输入节点连接至所述输出节点的多个隐藏节点；以及基于所述表征值来确定所述基板的停止处理或处理参数的调整中的至少一个。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
