[发明专利]嵌段共聚物有效
申请号: | 201780071835.8 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN109983043B | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 李济权;朴鲁振;金廷根;崔银英;具世真;李美宿;柳亨周;尹圣琇 | 申请(专利权)人: | 株式会社LG化学 |
主分类号: | C08F293/00 | 分类号: | C08F293/00;C08F230/08;C08F212/14;H01L21/027;H01L21/311;G03F1/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵丹;高世豪 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请可以提供嵌段共聚物及其用途。本申请的嵌段共聚物可以具有优异的自组装特性或相分离特性和优异的蚀刻选择性,并且可以自由地赋予其所需的各种其他功能。 | ||
搜索关键词: | 共聚物 | ||
【主权项】:
1.一种嵌段共聚物,包含具有由下式1表示的单元的聚合物链段A和不同于所述聚合物链段A的聚合物链段B:[式1]
其中,R为氢或具有1至4个碳原子的烷基,X为单键、氧原子、‑C(=O)‑X1‑或‑X1‑C(=O)‑,其中X1为氧原子或‑SiH2‑,以及Y为包含与具有8个或更多个成链原子的链连接的环结构的一价取代基,其中所述链经含有一个或更多个硅原子或铁原子的烃官能团取代。
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