[发明专利]评估诸如半导体基板的产品的质量

摘要

可提供用于评估由半导体基板制造设备(40)制成的半导体基板的质量的评估装置(10)。该评估装置(10)可包括：用于接收半导体基板的图像的接收单元(100)，该图像由设置在半导体基板制造设备(40)上的成像装置(50)拍摄；用于利用神经网络(1020)来确定表示机器学习装置(70)针对半导体基板的图像输出的错误输出的概率的至少一个值的确定单元(102)，该机器学习装置(70)用于(i)接收半导体基板的图像，(ii)利用所接收的图像执行计算，及(iii)基于计算结果输出表示半导体基板的质量的信息；以及基于表示概率的至少一个值来输出一输出的输出单元(104)，其中神经网络(1020)已利用制成的半导体基板的图像，和对于制成的半导体基板的图像中的各个图像，表示机器学习装置(70)针对所述制成的半导体基板的图像中的该图像的输出的错误程度的信息进行训练。

主权项

1.一种用于评估由半导体基板制造设备(40)制成的半导体基板的质量的评估装置(10)，该评估装置(10)包括：接收单元(100)，该接收单元(100)被配置成接收所述半导体基板的图像，所述图像由设置在所述半导体基板制造设备(40)上的成像装置(50)拍摄；确定单元(102)，该确定单元(102)被配置成利用神经网络(1020)来确定代表机器学习装置(70)针对所述半导体基板的图像输出错误输出的概率的至少一个值，所述机器学习装置(70)被配置成：(i)接收所述半导体基板的图像，(ii)利用所接收的图像来执行计算，以及(iii)基于该计算的结果来输出表示所述半导体基板的质量的信息；以及输出单元(104)，该输出单元(104)被配置成基于表示所述概率的所述至少一个值来输出一输出，其中，所述神经网络(1020)已经利用以下各项进行了训练：制成的半导体基板的图像；以及对于所述制成的半导体基板的图像中的各个图像，表示针对所述制成的半导体基板的图像中的该图像来自所述机器学习装置(70)的输出的错误程度的信息。