[发明专利]包含环戊二烯基配体的金属配合物

摘要

本发明提供了含有环戊二烯基配体的金属配合物和使用该金属配合物制备含金属膜的方法。

主权项

1.一种在结构上和式I相对应的金属配合物：[(R¹)_nCp]₂M¹L¹(I)其中，M¹是钪和钇；每个R¹独立地为氢、C₁‑C₅的烷基或甲硅烷基；n为1、2、3、4或5；Cp是环戊二烯基环；及L¹选自由NR²R³、N(SiR⁴R⁵R⁶)₂、3,5‑R⁷R⁸‑C₃HN₂、1‑(R³²)C₃H₄、1‑R³³‑3‑R³⁴‑C₃H₃和R³⁵,R³⁶‑C₃HO₂组成的组；其中，R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷和R⁸各自独立地为氢或C₁‑C₅的烷基；且R³²、R³³、R³⁴、R³⁵和R³⁶各自独立地为烷基或甲硅烷基；其中，当M¹是钇且L¹是3,5‑R⁷R⁸‑C₃HN₂时，R¹是C₁‑C₅的烷基或甲硅烷基；且其中，当M¹是钇且L¹是N(SiR⁴R⁵R⁶)₂时，n为1、2、3或4。