[发明专利]针对用于显微镜的探测光的光学组件、用于显微镜检查的方法和显微镜

摘要

本发明涉及一种用于显微镜的、尤其是共焦扫描显微镜的探测光的光学组件，其具有用于被待测量的探测光穿过的射入平面(10)和布置在射入平面下游的用于将探测光(11)引导到探测平面(67)中的探测光路，其中，探测光路具有至少一个第一射束路径(1)，其具有第一光学射束引导器件，尤其是第一透镜和/或反射镜(20、30、34、36、58、60、66)，用于将探测光传导到探测平面中。光学组件在第一射束路径中具有至少一个用于对待测量的探测光在空间上进行光谱分裂的色散装置(26)和用于对在空间上进行了光谱分裂的探测光进行操纵的操纵装置(49)。第一光学射束引导器件与色散装置和操纵装置一起被布置并设立成用于产生射入平面到探测平面中的光谱分离并衍射受限的成像。优选地，光学组件具有第二射束路径(2)，其具有光学射束引导器件和用于选出第一射束路径(1)或第二射束路径(2)的选出装置(22)。在另一方面中，本发明还涉及一种用于显微镜检查的方法以及显微镜。

主权项

1.用于显微镜的、尤其是共焦扫描显微镜的探测光的光学组件，所述光学组件具有：用于被待测量的探测光(11)穿过的射入平面(10)以及布置在所述射入平面下游的用于将所述探测光(11)引导到探测平面(67)中的探测光路，其中，所述探测光路具有至少一个第一射束路径(1)，所述第一射束路径具有第一光学射束引导器件，尤其是第一透镜和/或反射镜(20、30、34、36、58、60、66)，用于将所述探测光(11)传导到所述探测平面(67)中，其特征在于，在所述第一射束路径(1)中存在有用于对所述待测量的探测光(24)在空间上进行光谱分裂的至少一个色散装置(26)，在所述第一射束路径中存在有用于对在空间上进行了光谱分裂的探测光(42、44、46)进行操纵的操纵装置(49)，并且所述第一光学射束引导器件(20、30、34、36、58、60、66)与所述色散装置(26)和所述操纵装置(49)一起被布置并设立成用于产生所述射入平面(10)到所述探测平面(67)中的光谱分离且衍射受限的成像。