[发明专利]使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法

摘要

一种用于对透明工件进行激光加工的方法包括：形成包含缺陷的轮廓线，这通过下述进行：引导由光束源输出的脉冲激光束通过非球面光学元件，所述非球面光学元件在径向方向上偏离光束路径定位，以及将脉冲激光束引导到透明工件中，使得被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分在透明工件中产生诱导吸收，该诱导吸收在透明工件中产生缺陷。被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分包括波长λ、有效光斑尺寸Wo,有效，以及非轴对称光束截面，其具有在x方向上的最小瑞利范围ZRx,最小，以及在y方向上的最小瑞利范围ZRy,最小。此外，ZRx,最小与ZRy,最小中的较小者大于式(I)，其中FD是包含10或更大数值的无量纲的发散系数。

主权项

1.一种用于对透明工件进行激光加工的方法，所述方法包括：在透明工件中形成轮廓线，所述轮廓线包含透明工件中的缺陷，其中，形成轮廓线包括：引导脉冲激光束，该脉冲激光束沿着光束路径取向并且由光束源输出，通过在径向方向上偏离光束路径定位的非球面光学元件，并且进入到透明工件中，使得被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分在透明工件中产生诱导吸收，所述诱导吸收在透明工件中产生缺陷，并且被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分包括：波长λ；有效光斑尺寸W_o,有效；和非轴对称光束截面，其包含在截面的x方向上的最小瑞利范围Z_Rx,最小，以及在截面的y方向上的最小瑞利范围Z_Ry,最小，其中，Z_Rx,最小与Z_Ry,最小中的较小者大于其中F_D是包含10或更大数值的无量纲的发散系数。