[发明专利]悬浮液和研磨方法有效
| 申请号： | 201780057709.7 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109743878B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 大内真弓 | 申请（专利权）人： | 昭和电工材料株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种悬浮液，其特征在于，含有磨粒、二醇和水，磨粒的平均粒径是120nm以下，所述悬浮液的pH为4.0以上且小于8.0。一种研磨方法，具备使用所述悬浮液研磨金属的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 悬浮液 研磨 方法 | ||
【主权项】：
1.一种悬浮液，其特征在于，含有磨粒、二醇和水，所述磨粒的平均粒径是120nm以下，所述悬浮液的pH为4.0以上且小于8.0。
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