[发明专利]化合物、树脂、组合物、以及抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法在审
| 申请号： | 201780057702.5 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109790097A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 越后雅敏 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C39/15 | 分类号： | C07C39/15;C07C39/17;G03F7/11;G03F7/20;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种下述式(0)所示的化合物。(式(0)中，RY为氢原子、碳数1～30的烷基或碳数6～30的芳基，RZ为碳数1～60的N价的基团或单键，RT为氢原子，RS各自独立地为任选具有取代基的碳数1～30的烷基、任选具有取代基的碳数6～30的芳基、任选具有取代基的碳数2～30的烯基、任选具有取代基的碳数1～30的烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、巯基或羟基，前述烷基、前述芳基、前述烯基和前述烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键，m各自独立地为0～7的整数，N为1～4的整数，此处，N为2以上的整数的情况下，N个[ ]内的结构式任选相同或不同。) |
||
| 搜索关键词： | 碳数 芳基 烷基 氢原子 烷氧基 烯基 氨基 电路图案 抗蚀图案 卤素原子 前述烷基 羧酸基 树脂 单键 醚键 酮键 硝基 巯基 羟基 酯键 | ||
【主权项】：
1.一种下述式(0)所示的化合物，![]()
式(0)中，RY为氢原子、碳数1～30的烷基或碳数6～30的芳基，RZ为碳数1～60的N价的基团或单键，RT为氢原子，RS各自独立地为任选具有取代基的碳数1～30的烷基、任选具有取代基的碳数6～30的芳基、任选具有取代基的碳数2～30的烯基、任选具有取代基的碳数1～30的烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、巯基或羟基，所述烷基、所述芳基、所述烯基和所述烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键，m各自独立地为0～7的整数，N为1～4的整数，此处，N为2以上的整数的情况下，N个[]内的结构式任选相同或不同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱瓦斯化学株式会社，未经三菱瓦斯化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780057702.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
